우성일렉트레이드(주)제품 상세 이미지
제품 상세 정보
SPT200 WS는 Sono‑Tek이 개발한 완전 자동화 초음파 포토레지스트 코팅 시스템으로, 단순히 코팅만 하는 장비가 아니라 로봇 웨이퍼 핸들링 기능까지 통합된 고급 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조 현장에서 균일성, 생산성, 신뢰성을 동시에 확보할 수 있도록 설계되었습니다. 특히 MEMS와 같이 고종횡비 구조나 복잡한 패턴을 가진 웨이퍼에서도 안정적인 코팅을 구현할 수 있다는 점이 큰 장점입니다.
| 웨이퍼 크기 | 100mm, 150mm, 200mm 웨이퍼 지원 (300mm 옵션) |
|---|---|
| 카세트 용량 | Dual Cassette System (2 Cassette Capacity) |
| 웨이퍼 핸들링 | 자동 로딩, 정렬(Alignment), 코팅 및 언로딩 지원 |
| 로봇 시스템 | Single Arm Robot, 고속 응답 Brushless Motor 및 Zero Backlash 구조 |
| 카세트 스캐닝 | Auto Scan 기능을 통한 웨이퍼 위치 확인 및 자동 대기열 관리 |
| 코팅 방식 | Ultrasonic Spray Coating (초음파 스프레이 코팅) |
| 클린룸 대응 | Class 1 Clean Room Compatible |
| 로봇 신뢰성 | MTBF > 60,000 Hours |
| 자동화 기능 | Cassette Loading, Wafer Alignment, Automated Spray Deposition |
| 시스템 옵션 | SPT WS Dual 구성 가능 (Dual SPT 200 System 적용, 생산성 향상) |