우성일렉트레이드(주)제품 상세 이미지
제품 상세 정보
SPT200은 Sono-Tek에서 개발한 초음파 스프레이 코팅 시스템으로, 반도체 웨이퍼에 포토레지스트를 균일하게 도포하기 위해 설계된 장비입니다. 특히 MEMS와 같이 깊은 트렌치나 고종횡비 구조에서 기존 스핀 코팅으로는 어려운 영역까지 균일하게 커버할 수 있다는 점이 핵심 장점입니다.
| 코팅 방식 | Ultrasonic Spray Coating (초음파 스프레이 코팅) |
|---|---|
| 주요 용도 | Photoresist Deposition, Microelectronics, MEMS, Biosensor, Optical Device 제조 |
| 적용 기판 | 유리, 금속, 폴리머, Flexible Film, Curved Surface, 대면적 패널 |
| 적용 소재 | Photoresist, UV Resist, Functional Polymer, Dielectric Material, Thin Film Formulation |
| 노즐 기술 | Patented Ultrasonic Nozzle Technology |
| 노즐 옵션 | AccuMist, MicroMist, Impact, Vortex, Propel (응용 분야별 선택 가능) |
| 막 두께 제어 | 정밀한 박막 형성 및 Closed-Loop Thickness Control 지원 |
| 코팅 특성 | 균일한 Conformal Coating, 우수한 Edge Coverage, 높은 재현성 |
| 재료 효율 | 높은 Transfer Efficiency, Photoresist 및 Solvent 사용량 절감 |
| 도포 품질 | Pooling, Streaking, Edge Bead 현상 최소화 |
| 제어 시스템 | Programmable Motion Control 기반 자동 코팅 공정 지원 |
| 공정 확장성 | 연구개발(R&D), 파일럿 생산, 소량 양산 공정 적용 가능 |
| 적용 산업 | 마이크로전자, 패널 레벨 패키징(PLP), 디스플레이, 바이오센서, 마이크로플루이딕스 |
| 주요 효과 | 균일한 포토레지스트 형성, 리소그래피 품질 향상, 수율 개선, 재료비 절감 |